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江蘇 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)MFC330 ，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

ESMFM-650 皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置，采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測(cè)量，顯示直觀、操控方便、數(shù)據(jù)準(zhǔn)確、測(cè)量范圍大并可保存多達(dá)10W 條以上黑歷史測(cè)量數(shù)據(jù)。該儀器廣泛用于小氣體流量的測(cè)量及泄漏率的檢測(cè)。高配置款內(nèi)置4 路高精度、高控制穩(wěn)定性的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），為測(cè)量提供高精度、高穩(wěn)定性的氣體輸出，使測(cè)量更加精度、便捷。

愛(ài)拓利公司現(xiàn)主推 MFC330 和 MFC300 兩個(gè)系列熱式氣體流量控制器MFM，流量控制器MFC。 $n? MFC330系列 使用毛細(xì)管柱傳感器，其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發(fā)，具有穩(wěn)定性高、抗腐$n蝕、高精度、高重復(fù)性等特點(diǎn)。$n? MFC300系列 使用MEMS傳感器原理，該系列產(chǎn)品具有響應(yīng)速度快、無(wú)需預(yù)熱、精確度高等特點(diǎn)。