在氣體流量控制領(lǐng)域，愛拓利展示了其從MFC300、MFC330到MFC600等多個(gè)系列的氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品。

以專為微小流量場(chǎng)景設(shè)計(jì)的MFC300系列為例，它采用MEMS流量傳感器，并自帶溫度和壓力補(bǔ)償功能。其測(cè)量準(zhǔn)確度可達(dá)±0.5%F.S.，而傳感器響應(yīng)時(shí)間僅為5毫秒。

愛拓利流量計(jì)的核心優(yōu)勢(shì)在于其高精度與高穩(wěn)定性。以MFC600系列為例，準(zhǔn)確度可達(dá)±0.2%F.S.，線性度為±0.1%F.S.，重復(fù)精度更是達(dá)到±0.05%F.S.。

這種高精度特性在動(dòng)態(tài)氣體配氣過(guò)程中至關(guān)重要，可以確保各組分流量的精確控制，從而保證最終混合氣體濃度的準(zhǔn)確性。

愛拓利專注于微小氣體領(lǐng)域精準(zhǔn)測(cè)控，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏，光纖，F(xiàn)PD，真空鍍膜，新能源電池，分析儀器，生物制藥，制配氣、化工、食品、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域