微量氣體流量計 MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調(diào)節(jié)氣體流量至設定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

    產(chǎn)品特點

精準質(zhì)量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟有效的解決方案

技術參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式