氣體流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

超快響應(yīng)：5ms 測(cè)量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)

高重復(fù)性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預(yù)熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置

     主要參數(shù)

    介質(zhì)要求

 潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2

測(cè)量和控制范圍  0.2%-100%F.S. （1:500）

準(zhǔn)確度  ±0.5%F.S.

重復(fù)精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）

傳感器響應(yīng)時(shí)間  5ms

控制響應(yīng)時(shí)間  300ms

預(yù)熱時(shí)間  ≤1s

閥門 常閉式

最大工作壓力   1.1 MPa（11bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  0-65℃（環(huán)境和氣體）

溫度范圍  0 - 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí)  IP40

安裝方式  任意方向安裝

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.38kg