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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器mfm330愛拓利氣體流量計(jì)
產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
產(chǎn)品特性： | |||
◆無可移動部件 | |||
| ◆支持多種通訊協(xié)議 | |||
| ◆容易安裝及維護(hù) | |||
| ◆高精度、高穩(wěn)定性、非常低的零漂 | |||
| ◆可測多種氣體 | |||
| ◆一體液晶顯示和按鍵操作 | |||
| ◆內(nèi)置溫度和壓力傳感器 | |||
| ◆同時顯示氣體瞬時流量和累積流量 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域： | |||
技術(shù)參數(shù)： | ——分析儀器 | ——干刻（RIE/DRIE） | |
| 流量規(guī)格： | 0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM | ——生物技術(shù) | ——?dú)庀嗌V分析 |
——激光焊機(jī) | ——過程自動化 | ||
準(zhǔn)確度： | ±0.5%F.S. | ——真空鍍膜 | ——燃料電池 |
| 重復(fù)精度： | ±0.2%F.S. |
產(chǎn)品尺寸： | |
使用溫度： | -20~65℃ | ||
| 使用濕度： | 0~98%（?凝露） | ||
Max耐壓： | 3MPa | ||
| 響應(yīng)時間： | <1s | ||
| 供電電壓： | 15~40VDC | ||
| 功率： | <1.2W | ||
| 通訊方式： | RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA | ||
| 氣路部件材質(zhì)： | SUS304、SUS316L | ||
密封件材質(zhì)： | 氟橡膠 | ||
氣路接頭： | 快擰、快插、卡套、VCR | ||
外接顯示器尺寸： | |||
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電氣連接：DB9 | |||
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產(chǎn)品造型： | |||
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愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平， 擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一?！耙躁P(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場為導(dǎo)向"，愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。
愛拓利氣體流量計(jì)主要型號MFC300 和MFC330。
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