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氮氣氣體流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

氧氣氣體質量流量控制器?氣體質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。 該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理，通過質量流量傳感器測量氣體流經(jīng)管道時的壓差和溫度變化，進而計算出氣體的質量流量，并通過控制閥門調節(jié)氣體流量，使其保持在設定的范圍內(nèi)?。

熱式質量流量計MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質量流量。

微小氣體質量流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

空氣流量計廠家MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

微小氣體質量流量計廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，產(chǎn)品基于毛細管柱熱式原理，主 要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。 MFM/MFC330 系列氣體質量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、穩(wěn)定性好、工作壓力范圍 寬、極低零漂等特點。模擬量和數(shù)字量等多種通訊方式可選，內(nèi)置顯示屏可選，操作配置靈活。 MFM/MFC330廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、特種材料學科、石油化