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自主研發(fā)微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

平臺Alicat氣體質(zhì)量流量計MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

國產(chǎn)替代高精度氣體流量控制器我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡稱 MFC330），主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償

進口平替空氣流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

蘇州氮氣質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。 被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。